2025.7.16
修理完了しました。
低真空モードも含めて通常利用可能です。
2025.7.10
日本電子より連絡がありました。下記日程で一日作業することになりました。
つきましては、大変恐縮ですが、この日は利用停止とさせていただきます。
日 時：2025年7月16日（水）全日
なお、低真空モードが復帰しましたら改めてご報告いたします。
以上、よろしくお願いします。
2025.7.8
標記の通り、簡易分析SEM（JSM-IT100LA）の低真空モードで、圧力調整を行うニードルバルブが故障したため、真空度の制御ができなくなりました。
これについては現在メーカー修理の手配をかけておりますが、日本電子からの連絡待ちとなっております。（まだ連絡が来ていません。。。）
このため、当面低真空モードの利用ができません。
修理完了しましたら改めてご連絡いたします。
なお、高真空モードは利用できます。