標記の件、レーザー顕微鏡およびXPSの装置更新作業に係り、以下の通り利用を停止します。
記
1.廃棄
2月8日(土) 利用停止装置:μXPS,Dektak,AFM(Origin・Jupiter)
2.装置搬入・組立
2月7日(金) 利用停止装置:Dektak
2月25日(火) 利用停止装置:SEM(JSM-IT100LV),μXPS ※解析用PC含む
以上、よろしくお願いします。
標記の件、レーザー顕微鏡およびXPSの装置更新作業に係り、以下の通り利用を停止します。
記
1.廃棄
2月8日(土) 利用停止装置:μXPS,Dektak,AFM(Origin・Jupiter)
2.装置搬入・組立
2月7日(金) 利用停止装置:Dektak
2月25日(火) 利用停止装置:SEM(JSM-IT100LV),μXPS ※解析用PC含む
以上、よろしくお願いします。