【利用停止】装置更新作業に係る利用停止について(表面・形態構造)

標記の件、レーザー顕微鏡およびXPSの装置更新作業に係り、以下の通り利用を停止します。

 記

1.廃棄
 2月8日(土) 利用停止装置:μXPS,Dektak,AFM(Origin・Jupiter)

2.装置搬入・組立
 2月7日(金) 利用停止装置:Dektak
 2月25日(火) 利用停止装置:SEM(JSM-IT100LV),μXPS ※解析用PC含む

以上、よろしくお願いします。

 

ご参考:【連絡】装置更新に係る利用停止について(XPS,レーザー顕微鏡)