【利用再開】μXPSについて

2024.10.3

9/26~10/2で行った修理およびメンテナンス作業において、一部問題点が残ってしまいました。

が、通常利用では支障がないだろう、との業者の見解から(来週10/7より)利用再開としたいと思います。

もし、その前から急ぎ測定を希望される場合は、ライセンスある方に限り応相談とします。

よろしくお願いします。 


2024.9.17

中和銃ですが、メーカーからの回答としては、やはり9/26~のメンテナンスの際に対応するとのことでした。

そのため、それまでは当面中和銃なしで導電性のある試料のみ可能、となります。

ご不便おかけして大変恐縮ですが、よろしくお願いします。

 


2024.9.6

μXPSですが、本日中和銃が断線しました。

そのため現在、導電性のない試料の測定はできません。
(十分に導電性のある金属等であれば中和銃無しでも測定可能です。)

こちらについても現在メーカとやり取りしています。
対処としてはフィラメントの交換になりますが、今月末に予定しているメンテナンスで行う予定でした。

不具合が続いており、利用者の方々にはご不便おかけして申し訳ありません。

進捗がありましたら、改めてご案内します。

以上、よろしくお願いします。

 


2024.8.28

μXPSについて、昨日業者エンジニアが来て、とりあえずIntro-TMPの不具合は解消しました。

そのため、本日より立上げ作業を継続します。

が、下記作業工程のうちベーキングに伴う②~④の作業は、9月下旬に予定しているメンテナンスで行いますので、今回は現状の真空度を持たせることにしました。

そのため、(現在の見通しですが)今後の作業が順調に終了すれば、来週9/3(火)から装置利用は可能かと考えており、8/30の予約会でも9/3より受けるつける予定です。

以上、よろしくお願いします。

 


2024.8.26

物性計測センターラボの一斉休業期間後の装置の立ち上げについては以下の通りご案内しております。
https://www.cf.waseda.ac.jp/%e3%80%90%e9%80%a3%e7%b5%a1%e3%80%91%e5%a4%8f%e5%ad%a3%e4%b8%80%e6%96%89%e4%bc%91%e6%a5%ad%e5%be%8c%e3%81%ae%e8%a3%85%e7%bd%ae%e5%88%a9%e7%94%a8%e9%96%8b%e5%a7%8b%e3%81%ab%e3%81%a4%e3%81%84%e3%81%a6/

 
このうちμXPS(VersaProbeⅡ)については例年以下の流れで立上げを行っております。

①真空系の電源ON、真空引き開始
②ある程度真空が上がった所で、ベーキング準備(配線等取り外し、ヒーター設置、ガラスカバーのセット)
③ベーキング(1~2日間)
④冷却後、組立て(ガラスカバー・ヒーター取り外し、配線等接続)
⑤電気系統・各種銃(電子銃・イオン銃・中和銃・GCIB)電源ON
⑥各種銃のデガス(2~4日間)

この作業が終わった段階で、標準試料の測定を行い、問題なければ利用再開としています。

しかし、現在Intro部分のTMPが動作せず、立ち上げることができていません。
(つまり①の段階で止まっています。。。)

そのため、利用開始日が予定日の9/2よりも遅くなる可能性大です。

現在メーカーとやり取りしていますが、進捗がありましたら、改めてご案内いたします。

 

以上、ご面倒おかけしますが、よろしくお願いします。